干式真空泵类型如何来选择

在干式真空泵的应用中，选择合适的设备可以有效地解决干式真空泵设备的两个问题：第一，吸入容器污染泵的工作介质，影响产品质量、数量和维护成本。第二，由于某些反应材料在真空泵过程中的介质变质，使泵不能正常工作。那么干式真空泵都有哪些类型呢？大致可以分为：

1. 双圆裂纹。该设计非常类似于目前流行和广泛使用的根泵。实际上，一些早期的干泵设计思想是堆根泵。这种多阶段的设计使得气体路径相当复杂，每一个都需要大量的氮流稀释和分离。同时，为了实现良好的真空，对各级排雷都有非常严格的要求。当然，这种设计提高了内部压缩比，并且降低了成本。
干式真空泵
2. 内压螺杆类型。除了采用一对非等距螺杆外，内压螺杆设计和外压螺杆设计的基本原理非常相似。内部压缩之间的体积。由于内部压缩，这种设计将其功耗降低到相当于多级泵的水平。然而，在许多过程中，这种内部压缩与多级泵一样，很容易导致泵体内气体的物理和化学变化产生凝固或液化。
3. 组合（胡萝卜爪）。该设计采用根提高低压下抽油效率，提高高压下抽油效率。其基本原理和气路与上述原理完全相同。一些制造商已经将最后一层改为星形设计，使气体可以分成五个部分在一个旋转的圆圈，正如一个三件分裂设计可以分成三个部分。同样，在许多工艺中，每一层复合材料的设计都需要大量的氮气来稀释和分离。
4. 三叶圆叶。这种干式真空泵的设计与双圆分片机的设计相同，它将气体分为三个部分，而不是两个部分，如双圆分片机。两种设计都有相同的优缺点。为了进一步降低功耗，一些制造商在变速器中选择了两台直流电动机，但这也会导致扭矩降低，重启容量下降。与双圆分片设计一样，三叶圆分片设计的每一层需要大量的氮气来稀释和分离。
5. 外压螺杆类型。应用一对等距螺钉。这使得内部压缩减少到更小的数量，同时使气体通道更短更简单。这样，气体在干式真空泵体内停留较短。虽然这种设计降低了内压缩比，使其功耗相对较高，但在许多复杂的半导体工艺中表现出高的稳定性。这种单级设计使得对氮的使用要求非常小和简单，因此在不同工艺中具有良好的互换性。在许多清洁过程中甚至不能使用氮。
随着干式真空泵应用的不断增加，厂家为了更好地满足企业的需求，使其可以分为这些类型，通过以上的详细介绍，使其能够根据自己的应用需要，选择设施。